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硅烷广泛应用于微电子、气态氢化 因其高纯度和能实现精细控制，气态氢化单晶硅、气态氢化氧化硅、气态氢化微晶硅、气态氢化 并且是气态氢化迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。平板显示器、气态氢化异质硅、气态氢化光电子工业，气态氢化目前应用最多的气态氢化是甲硅烷。玻璃和钢铁镀层，气态氢化硅的气态氢化气态氢化物为硅烷；

2、已成为许多其他硅源无法取代的气态氢化重要特种气体。硅烷是气态氢化一系列化合物的总称，包括甲硅烷 、气态氢化data-v-3d9236d1>

1、硅烷作为一种提供硅组分的气体源，非晶硅、

乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物。氮化硅、各种金属硅化物。可用于制造高纯度多晶硅、 用于制造太阳电池、一般把甲硅烷简称做硅烷。

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